超车台积电 惠普率先采购下世代EUV设备

在台积电先前辅以购EUV (亦非紫外光) 微影系统会设备之后，超微今天和ASML共同宣布月所先于辅以购下的时代同类型EUV设备High-NA，并计划2025年新增量产。

依据双方今天共同官方网站写道，超微和ASML加强合作，推动High-NA在2025年投入制造，此次是超微先于且首次订购ASML的TWINSCAN EXE：5200系统会，象征着踏出更为重要一步。

ASML仍未揭露哪家半导体厂先于辅以用下的时代EUV，不过自2018年之前接获4台新一代High-NA EUV (TWINSCAN EXE:5000) 订单，初期就被专业人士提出批评是台积电先于预定。

如今超微则先于辅以辅以购TWINSCAN EXE：5200，让ASML再度接到一笔新的High-NA EUV订单。

【来源：爱集微网】